SJT 31062-1994 RD4500型离心干燥机完好要求和检查评定方法
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ID： |
ECF8118217A849A49CACF40B5C7C1B86 |
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文件大小(MB)： |
0.18 |
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页数： |
2 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,RD-4500型离心干燥机完好要求和,SJ/T 31062—94,检查评定方法,1主要内容与适用范围,本标准规定了 RD-4500型离心干燥机的完好要求和检查、评定方法,本标准适用于RD—4500离心干燥机。其它半导体器件、集成电路生产用的类似结构离心,干燥机亦可参照执行,2完好要求,2.1 主要技术指标,2.1.1 转速;干燥最大185017min,漂洗最大450r/mino,2.1.2 压カ:10. 447X103-1. 39345 X104Pa；,2.1.3 纯水压カ:6. 975 XI ぴ.].39345 XIQ'Pa,2.2 机械系统,承片支架稳固、牢靠、筒体稳定性好,2.3 电气系统,2.3.1 电气系统装置齐全,管线完整、性能良好,运行可靠,2.3.2 电气箱内清洁,布线整齐、线路无破损老化,各种线路标志明显,联接可靠,2.3.3 外部导线有完整的保护装置。线路外套管无脱落破损,2.3.4 各种开关动作灵敏,安全可靠,2.3.5 电动机运行平稳,轴承无显著噪音,温升在额定范围以下。电动机运行时,三相电流不,平衡不应超过1。%。直流电机换向器不得出现灼伤,电刷不得被烧焦损坏。电动机的风罩,风,叶齐全,2.4 -水气系统,2.4.1 气阀、水阀反应灵敏,冲气、冲水系统良好,2.5 安全防护,2.5.1 外壳保护接地良好,2.5.2 门安全开关完好,2.6 维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,下载,SJ/T 31062-94,3检查和评定方法,3.1 检查方法,3.1.1 用0.4级标准表以对有关压カ项目的检测,3.2 评定方法,3. 2.1主要项目有2.1.K2.1. 2、2.1. 3,其余为次要项目,3.2.2 主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3.2.3 完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出〇,本标准由中国华晶电子集团公司组织起草,本标准主要起草人:邵建新、吴秀琴,2 一……
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